| 2013年3月期 | 2014年3月期 | 2015年3月期 | 2016年3月期 | 2017年3月期 | 2018年3月期 | 2019年3月期 | 2020年3月期 | 2021年3月期 | 2022年3月期 | 2023年3月期 | |
| 設備投資※１ | 7,637 | 5,574 | 5,926 | 6,889 | 5,496 | 7,741 | 6,338 | 5,404 | 3,495 | 4,878 | 4,567 |
| 減価償却費※１，２ | 5,325 | 5,717 | 5,794 | 6,505 | 6,357 | 5,819 | 6,092 | 5,646 | 5,418 | 5,093 | 5,093 |
| 研究開発費 | 7,918 | 8,352 | 7,187 | 6,609 | 6,599 | 7,183 | 7,354 | 7,413 | 6,486 | 6,207 | 5,272 |